微量水分析儀設備是用于檢測水份的儀器，有電解法、阻容法、冷鏡法、光纖法幾種測量方法，量池可拆卸，維護方便。

微量水分析儀設備主要分為四種類(lèi)型

1，電解法

五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個(gè)玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來(lái)選擇電極材質(zhì)（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過(guò)程的zui終產(chǎn)物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質(zhì)，因此從樣氣中吸收水分，通過(guò)連續的電解過(guò)程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過(guò)儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來(lái)測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數會(huì )同磷酸發(fā)生化學(xué)反應的氣體除外。

P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質(zhì)應用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質(zhì)也可以提供。

樣氣以特別的傳遞方式流經(jīng)探頭，再結合一個(gè)高質(zhì)量的界面。從而確保探頭響應迅速和受干擾影響zui小，這些設計對于很低的ppm級測量十分重要。流經(jīng)探頭的樣氣流速通常設置在 20Nl/h(100Nl/h可選)。與分析儀的電氣連接器為防水密封結構。用戶(hù)可以十分容易的在五分鐘內完成探頭的再生工作。探頭可以通過(guò)3個(gè)M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。

優(yōu)點(diǎn)：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時(shí)可以測量腐蝕性氣體。

缺點(diǎn)：傳感器需要定期重涂，漂移較大，易受H2，O2等背景氣影響。平衡時(shí)間長(cháng)，響應慢。

2，阻容法（電容法）

利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(yōu)點(diǎn)是響應速度非?？?，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現場(chǎng)和快速測量場(chǎng)合；缺點(diǎn)是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著(zhù)各廠(chǎng)家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過(guò)改變材料和提高工藝使得傳感器穩定度大大提高，通過(guò)對傳感器響應曲線(xiàn)的補償作到了飽和線(xiàn)性，解決了自動(dòng)校準問(wèn)題。

優(yōu)點(diǎn)：反映速度快。

缺點(diǎn)：精度較差。

3，冷鏡法

讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過(guò)等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點(diǎn)是響應速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(huì )影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結露’造成測量誤差。

優(yōu)點(diǎn)：精度高。

缺點(diǎn)：響應速度慢。

4，光纖法

該技術(shù)是20世紀末發(fā)展起來(lái)的一種新型測量技術(shù)，將微量水分析技術(shù)提高到了一個(gè)新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數的氧化硅和氧化鋯構成的層疊結構，通過(guò)先進(jìn)的熱固化技術(shù)，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm, 0.28nm的水分子可以滲入?？刂破靼l(fā)射出一束790－820nm的近紅外光，通過(guò)光纖電纜傳送給傳感器，進(jìn)入到傳感器的水分子會(huì )改變光的反射系數，從而引起波長(cháng)的變化，該變化量與介質(zhì)的

水分含量成相應的比例關(guān)系。通過(guò)測量接收到的光的波長(cháng)，就可以得到介質(zhì)的露點(diǎn)及水分含量。

優(yōu)點(diǎn)：精度高，免維護，非常穩定，可測量含H2S、HCL等的腐蝕性介質(zhì)。

缺點(diǎn)：傳輸光纖易折斷，需要保護。

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