微量氧分析儀的原理主要有化學(xué)電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過(guò)一個(gè)小的毛細口傳感器，然后通過(guò)一個(gè)疏水膜擴散進(jìn)入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會(huì )有適量的氣體進(jìn)入與感應電極反應產(chǎn)生足夠的電信號，并同時(shí)防止電解液泄漏出傳感器。通過(guò)疏水膜擴散進(jìn)入傳感器里的氣體在感應電極發(fā)生氧化/還原反應，電極間連接一個(gè)電阻，這樣，陰極和陽(yáng)極間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)與氧濃度成正比的電流。通過(guò)檢測這個(gè)電流，就反應出氣體中的氧濃度。

　　在進(jìn)行微量氧分析時(shí)，由于空氣中氧含量高達21%，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常。以下是測試過(guò)程中需要注意的各個(gè)方面。

　　1、泄漏

　　微量氧分析儀在初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下,才能獲得準確數據結果。任何連接點(diǎn)，焊點(diǎn)，閥門(mén)等處的不嚴密，將會(huì )導致空氣中的氧反滲進(jìn)入管道及儀器內部，從而得出含氧量偏高的結果。

　　2、污染

　　在重新使用儀器時(shí)，首先須注意在連接取樣管路時(shí)是否漏入空氣。并且必須認真將漏入空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過(guò)傳感器以延長(cháng)傳感器壽命。在管道系統凈化過(guò)程中，為縮短凈化時(shí)間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進(jìn)行可迅速凈化管道。

　　3、背景氣的干擾

　　如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣，會(huì )影響分析結果。并且少量的氫氣也會(huì )對分析結果產(chǎn)生較大的影響。對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式微量氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。

　　4、氣路系統的簡(jiǎn)化及潔凈

　　微量分析要求必須有效排除氣路上的各種管件，閥門(mén)，表頭等中的死角對樣氣造成的污染。因此，應盡可能簡(jiǎn)化氣路系統，選用死角小的連接件等。并且，避免使用水封，油封及臘封等設備，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在樣氣引出至儀器進(jìn)口的管線(xiàn)上增加易造成污染的凈化設備等。只有這樣才能保證系統潔凈，所得數據準確。